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为什么选择Elmo伺服系统?发布日期:2025-06-09 18:08:14
为什么选择Elmo伺服系统?以Elmo大功率伺服驱动器Platinum系列为例,该系列在速度、伺服性能、带宽、精度和控制能力上,相对于Elmo***Gold系列都做了大幅升级,可以更好地满足晶圆传输对运动控制的严苛要求。小身材大能量满足微缩工艺以Elmo Platinum Twitter驱动器为例,最小尺寸为35 x 30 mm,仅有一个火柴盒的大小,完全满足半导体制作工序持续微缩的需求,同时可提供5600W的连续功率,确保晶圆在传输过程中高效可靠。纳米级运动控制实现精准定位采用高分辨率编码器和***电流环控制技术,搭配Platinum Maestro***的双核运动控制技术,实现纳米级精度的
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